真空等离子清洗机

10L立式真空等离子清洗机

采用电感性等离子体刻蚀（ICP）技术通过射频等离子电源在真空腔室内激发工艺气体，产生低温等离子体。该等离子体能高效地对放置于小型 10L 真空腔室内的工件表面进行物理轰击与化学反应。应用于：新材料研究与开发、小型精密零部件、传感器、MEMS器件、小型样品批次的处理、粘接前处理、镀膜/涂装前处理、焊接前清洁。

腔体容积：10L

射频频率：13.56MHZ

材质：316L不锈钢

功率：300W可调

气路控制：2路

物料托盘：2层

sale@j-lai.net

咨询:19902489097

产品详情

型号	JL-VMB10
等离子源系统	等离子发生器		射频频率：13.56MHZ;功率300W可调
真空系统	真空腔体	材质	316L不锈钢
		腔体内部尺寸	200270200mm（宽深高）
		极板	3层，水平式，活动可调节
		物料托盘	2层，有效尺寸：168×140mm
		腔体容积	10L
	泵	真空泵	爱特
	选配		真空表：亚德客	浮子流量计：瞳牧
			真空计：正华	质量流量计：SEVENSTAR
	气路控制		标配2路（可定制），气体流量可调，适用Ar、N₂、CF₄、O₂、H₂
	工作真空度		5Pa-30Pa
电控系统	人机工控系统		自动+手动触控式全中文界面
	PLC+触摸屏		顾美一体机
	开关电源		台湾明伟
	变频控制系统		根据实际情况自动调节真空泵抽速，实时确保真空度稳定
	软件程序		自主专利设计等离子控制系统，三级权限设置自动、手动模式配方参数设定、存储、调用，报警历史查询，IO监控
	报警功能		真空度、辉光、功率、气压等实时监控报警（三色灯蜂鸣器报警+显示屏提示）
进气系统	气体控制系统		日本SMC电磁阀
	气压监测系统		日本SMC减压阀、压力报警表
	进气管路组件		Φ8mm软管+不锈钢套管路
泄压系统	破真空组件		挡板阀+节流阀+消音器
整机参数	外形尺寸（MM)		6507501700mm（宽深高）
	重量		120kg
	额定总功率		1.5KW