真空等离子清洗机

5L真空等离子清洗机-CCP-不锈钢腔体

采用电容耦合（CCP）技术，通过内置电极板高频电场直接电离气体，生成均匀稳定的高活性等离子体，该等离子体能高效地对放置于真空腔室内的工件表面进行物理轰击与化学反应。应用于：新材料研究与开发、小型精密零部件、传感器、MEMS器件、小型样品批次的处理、粘接前处理、镀膜/涂装前处理、焊接前清洁。

腔体容积：5L

频率：40KHZ

功率：600W可调

材质：316L不锈钢

气路控制：2路标配

等离子体：CCP

型号	JL-VMB05
等离子源系统	等离子发生器		中频频率：40KHZ;功率600W可调
真空系统	真空腔体	材质	316L不锈钢
		腔体内部尺寸	Φ157 mm * Dept.270mm（直径*深)
		腔体容积	5L
	泵	真空泵	爱特
	选配		真空表：亚德客	浮子流量计：瞳牧
			真空计：正华	质量流量计：SEVENSTAR
	气路控制		标配2路（可定制），气体流量可调，适用Ar、N₂、CF₄、O₂、H₂
	工作真空度		5Pa-30Pa
电控系统	人机工控系统		自动+手动触控式全中文界面
	PLC+触摸屏		顾美一体机
	开关电源		台湾明伟
	变频控制系统		根据实际情况自动调节真空泵抽速，实时确保真空度稳定
	软件程序		自主专利设计等离子控制系统，三级权限设置自动、手动模式配方参数设定、存储、调用，报警历史查询，IO监控
	报警功能		真空度、辉光、功率、气压等实时监控报警（蜂鸣器报警+显示屏提示）
进气系统	气体控制系统		日本SMC电磁阀
	气压监测系统		日本SMC减压阀、压力报警表
	进气管路组件		Φ8mm软管+不锈钢套管路
泄压系统	破真空组件		挡板阀+节流阀+消音器
整机参数	外形尺寸（MM)		650480420mm（宽深高）
	重量		55kg
	额定总功率		1.5KW