真空等离子清洗机

在线式真空等离子清洗机

应用于IC封装，摄像头模组清洁，LED/芯片支架清洁BGA基材清洁，PCBASMT助焊剂清洁，GPP基材清洁，玻璃盖板。

腔体容积：16L

频率：13.56MHZ

材质：铝合金

功率：300W

气路控制：2路标配

工作轨道数：4条

型号	JL-VMON16
等离子源系统	等离子发生器		频率：13.56MHZ；功率300W
工作轨道数			4条
单次片式产品清洗数量			4PC
处理尺寸			料盒尺寸: L240xW75xH170
真空系统	真空腔体	材质	铝合金
		腔体内部尺寸	长宽高：638x370x70mm
		腔体容积	16L
	泵	真空泵	干泵
	皮拉尼电阻式真空计		正华
	质量流量计		SEVENSTAR
	气路控制		工艺气体两路（氩气、氧气）；功能性气体两路（压缩空气、氮气）
	工作真空度		5Pa-30Pa
电控系统	人机工控系统		自动+手动触控式全中文界面
	PLC+触摸屏		西门子+昆仑通态
	开关电源		台湾明伟
	变频控制系统		根据实际情况自动调节真空泵抽速，实时确保真空度稳定
	软件程序		自主专利设计等离子控制系统，三级权限设置自动、手动模式配方参数设定、存储、调用，报警历史查询，IO监控
	报警功能		真空度、辉光、功率、气压等实时监控报警（三色灯蜂鸣器报警+显示屏提示）
进气系统	气体控制系统		电磁阀
	气压监测系统		减压阀、压力报警表
	进气管路组件		Φ8mm软管+不锈钢套管路
泄压系统	破真空组件		挡板阀+节流阀+消音器