真空等离子清洗机

30L真空等离子清洗机

对材料表面进行清洗，活化改性，去除有机物，去除氧化物，去除微小颗粒；提升亲水性，增强粘接性，附着力，分子活性。应用于硅片、金属、玻璃、橡胶、高分子材料、PTFE、PCB等材料表面的清洁、处理，增强亲水性、粘接力。

腔体容积：30L

频率：13.56MHZ/40KHZ

材质：316不锈钢

功率：300W/2KW可调

气路控制：2路标配

极板：5层，水平可调节

型号	JL-V30
等离子源系统	等离子发生器(可选）		射频频率：13.56MHZ；功率300W可调
			中频频率：40KHZ；功率2KW可调
真空系统	真空腔体	材质	316不锈钢
		腔体内部尺寸	350mm(宽）X300mm（深）X300mm（高）
		极板	5层，水平式，活动可调节
		物料托盘层数	4层，有效尺寸：190×270mm
		腔体容积	30L
	泵	真空泵	鲍斯（油泵/干泵）
	皮拉尼电阻式真空计		日本ULVAC
	质量流量计		SEVENSTAR
	气路控制		标配2路（可定制），气体流量可调，适用Ar、N₂、CF₄、O₂、H₂
	工作真空度		5Pa-30Pa
电控系统	人机工控系统		自动+手动触控式全中文界面
	PLC+触摸屏		顾美一体机
	开关电源		台湾明伟
	变频控制系统		根据实际情况自动调节真空泵抽速，实时确保真空度稳定
	软件程序		自主专利设计等离子控制系统，三级权限设置自动、手动模式配方参数设定、存储、调用，报警历史查询，IO监控
	报警功能		真空度、辉光、功率、气压等实时监控报警（三色灯蜂鸣器报警+显示屏提示）
进气系统	气体控制系统		日本SMC电磁阀
	气压监测系统		日本SMC减压阀、压力报警表
	进气管路组件		Φ8mm软管+不锈钢套管路
泄压系统	破真空组件		挡板阀+节流阀+消音器
整机参数	外形尺寸（MM)		640(宽）750(深）1700(高）
	重量		280kg
	额定总功率		射频：1.5KW；中频：3KW