真空等离子清洗机

60L真空等离子清洗机

应用于半导体/电子/LED，去除微细污染物（如光刻胶、氧化物）；对塑料橡胶，清除脱模剂、油污，活化难粘塑料（如PP、PTFE）表面；对医疗器械（如导管、支架）进行超洁净处理并引入亲水基团；对纤维表面进行亲水改性；去除金属表面油脂、氧化层等等。

腔体容积：60L

频率：13.56MHZ/40KHZ

材质：316不锈钢

功率：600W/2KW可调

气路控制：2路标配

极板：7层，水平可调节

型号	JL-V60
等离子源系统	等离子发生器(可选）		射频频率：13.56MHZ；功率600W可调
			中频频率：40KHZ；功率2KW可调
真空系统	真空腔体	材质	316不锈钢
		腔体内部尺寸	400mm(宽）X400mm（深）X400mm（高）
		极板	7层，水平式，活动可调节
		物料托盘层数	6层，有效尺寸：280×320mm
		腔体容积	60L
	泵	真空泵	鲍斯（油泵/干泵）
	皮拉尼电阻式真空计		日本ULVAC
	质量流量计		SEVENSTAR
	气路控制		标配2路（可定制），气体流量可调，适用Ar、N₂、CF₄、O₂、H₂
	工作真空度		5Pa-30Pa
电控系统	人机工控系统		自动+手动触控式全中文界面
	PLC+触摸屏		顾美一体机
	开关电源		台湾明伟
	变频控制系统		根据实际情况自动调节真空泵抽速，实时确保真空度稳定
	软件程序		自主专利设计等离子控制系统，三级权限设置自动、手动模式配方参数设定、存储、调用，报警历史查询，IO监控
	报警功能		真空度、辉光、功率、气压等实时监控报警（三色灯蜂鸣器报警+显示屏提示）
进气系统	气体控制系统		日本SMC电磁阀
	气压监测系统		日本SMC减压阀、压力报警表
	进气管路组件		Φ8mm软管+不锈钢套管路
泄压系统	破真空组件		挡板阀+节流阀+消音器
整机参数	外形尺寸（MM)		900(宽）900(深）1750(高）
	重量		500kg
	额定总功率		射频：1.5KW；中频：3KW