真空等离子清洗机

滚筒式真空等离子清洗机

应用于：1、硅橡胶密封圈：用滚筒等离子清洗机表面改性后涂覆润滑涂层，可增加涂层与密封圈的附着力。2、笔舌：利用等离子处理沉积亲水涂层，保证墨水流动顺畅，比酸洗更环保。

腔体容积：外腔150L，内腔50L

射频频率：13.56MHZ

材质：316不锈钢

功率：600W可调

气路控制：2路

极板：1层，水平固定式

型号	JL-VMB150-YZ
等离子源系统	等离子发生器		射频频率：13.56MHZ；功率600W可调
真空系统	真空腔体	材质	316不锈钢
		腔体外部尺寸	500mm(宽）X500mm（高）X600mm（深）
		内腔体内部尺寸	直径Φ400mmX长400mm（圆腔体可放5000个笔舌产品）
		极板	1层，水平固定式
		腔体容积	外腔体150L，内腔体50L
	泵	真空泵	鲍斯
	皮拉尼电阻式真空计		正华
	质量流量计		SEVENSTAR
	气路控制		标配2路（可定制），气体流量可调，适用Ar、N₂、CF₄、O₂、H₂
	工作真空度		5Pa-30Pa
电控系统	人机工控系统		自动+手动触控式全中文界面
	PLC+触摸屏		顾美一体机
	开关电源		台湾明伟
	变频控制系统		根据实际情况自动调节真空泵抽速，实时确保真空度稳定
	软件程序		自主专利设计等离子控制系统，三级权限设置自动、手动模式配方参数设定、存储、调用，报警历史查询，IO监控
	报警功能		真空度、辉光、功率、气压等实时监控报警（三色灯蜂鸣器报警+显示屏提示）
进气系统	气体控制系统		电磁阀
	气压监测系统		减压阀、压力报警表
	进气管路组件		Φ8mm软管+不锈钢套管路
泄压系统	破真空组件		挡板阀+节流阀+消音器
整机参数	外形尺寸（MM)		1000(宽）1000(深）1750(高）
	重量		550kg
	额定总功率		2KW